超小型燃料電池システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337595
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201348
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【構成】シリコン基盤(1)をエッチングして作製するガス流路(2)とマイクロセンサー(3)と開閉制御部(4)とを有するガス流路系および発電セル部を備えた超小型燃料電池であって、マイクロアクチュータ(3)とマイクロバルブ(4)によって、H2 ガスとO2 ガスの流量を制御する超小型燃料電池システム。【効果】汚染の少ないクリーンなエネルギー源である水素エネルギーを用いて、将来の実用化されるマイクロロボットにエネルギー供給可能な超小型燃料電池システムが可能となる。

請求項（抜粋）：

基盤に形成されたガス流路系とその開閉制御部および発電セル部を備えた超小型燃料電池であって、マイクロアクチュータとマイクロバルブによって、ガス流量を制御する超小型燃料電池システム。

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