特許

J-GLOBAL ID：200903025067329498

静電チャック

発明者： 平野 信介
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336742
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176919
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 高精度に温度制御が可能な静電チャックを提供する。【解決手段】 金属アルミニウムとセラミクスとの複合材料からなる基台11と、基台11上にロウ付け層12によってロウ付けされた焼結セラミクスからなる中間層13と、中間層13上に設けられた電極層14と、溶射法または電極層14をロウ材として用いたロウ付けによって電極層14上に設けられたセラミクスからなる誘電体層15とを備えている。これによって、基台11を構成する複合材料の混合バラツキに起因して局部的な線膨張係数の差が生じても、温度変化によって生じる局部的な熱応力が中間層13で緩和される。

請求項（抜粋）：

金属アルミニウムとセラミクスとの複合材料からなる基台と、前記基台上にロウ付けされた焼結セラミクスからなる中間層と、前記中間層上に設けられた電極層と、溶射法または前記電極層をロウ材として用いたロウ付けによって当該電極層上に設けられたセラミクスからなる誘電体層とを備えたことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D