特許
J-GLOBAL ID：200903025069240940
レンズ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113456
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323957
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 被検レンズの焦点位置が許容範囲内にあるか否かを自動的かつ短時間で判定する。【構成】 ユニット本体に組み込まれた撮影レンズ16にレーザコリメータ33から平行光束として射出されるレーザビーム35を入射させる。レーザビーム35は撮影レンズ16の焦点Pで収斂した後、第1レンズ38aに入射し、平行光束となって第2レンズ38bに入射する。結像レンズ41によってレーザビーム35はイメージセンサ44上に光スポット像として結像される。第1レンズ38aを光軸L方向の複数個所に移動させ、第1レンズ38aの前側焦点が撮影レンズ16の基準焦点位置を含む一定範囲内で移動させる。第1レンズ38aの移動ごとにイメージセンサ44から映像信号を取り込む。CPU51は映像信号の明るさのレベルをデータとして取り込み、第1レンズ38aの移動位置との相関により撮影レンズ16の焦点位置が許容範囲内にあるか否かを判定する。
請求項（抜粋）：
平行光束を被検レンズに入射させ、被検レンズによって結像される光スポット像を評価して被検レンズの焦点位置を検査する装置において、前記被検レンズの光軸上、かつ被検レンズの基準焦点位置の背後に移動自在に配置された対物レンズと、この対物レンズの前側焦点が被検レンズの基準焦点位置を含む一定範囲内の複数個所に位置するように対物レンズを移動させるレンズ移動機構と、対物レンズからの光束を光スポット像に結像させる結像レンズと、この結像レンズの結像面に配置された二次元イメージセンサと、前記レンズ移動機構により対物レンズが移動されるごとに二次元イメージセンサから前記光スポット像の映像信号を取り込み、光スポット像の明るさに基づいて被検レンズの光軸方向での焦点位置の適否を判定する判定処理手段とからなることを特徴とするレンズ検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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