特許
J-GLOBAL ID：200903025074825247
分析位置決定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154646
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021808
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 X線分析を行うに際して、良好な分析位置を求める。【構成】 CPU11は、まず試料について指定元素毎に濃度のマップを作成し、次にそのマップに基づいて散布図を作成する。そして、散布図のクラスタの重心を求め、その重心の位置における各元素の濃度値を求める。次に、CPU11は、マップ上のどの位置において散布図の重心における濃度が得られるかを調べて、その位置を分析位置として決定する。【効果】 このようにして得られた分析位置は、組成が比較的深いところまで均一である可能性が非常に高いので、この分析位置での分析結果は良好なものとなる。
請求項（抜粋）：
試料について指定元素毎に濃度のマップを作成し、そのマップに基づいて散布図を作成し、その散布図に現れたクラスタの重心位置における元素の濃度値を求め、求めた濃度値が得られるマップ上の位置を分析位置とすることを特徴とする分析位置決定方法。
引用特許：
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