特許

J-GLOBAL ID：200903025079593859

多層膜反射鏡およびEUV露光装置

発明者： 村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321030
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131489
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 多層膜反射鏡の反射面を所定の形状にするために多層膜表面を必要な量だけ除去する方法があるが、通常の可視光を用いた反射波面の形状の測定方法では精度良く必要な量を求めることが出来なかった。【解決手法】 測定に用いる光の波長を実際に多層膜反射鏡に入射して使用する波長とした。また、測定系には光学素子として回折素子を用いて行う事とした。

請求項（抜粋）：

反射面に屈折率の異なる二種類の物質を交互に所定の周期長で積層して多層膜を形成し、反射波面の位相を補正するために多層膜を表面からおよそ一層対ずつの単位で除去する多層膜反射鏡の製造方法であって、多層膜反射鏡の使用波長で反射波面形状を測定して、その測定結果から、反射面内の各位置での除去量を算出することを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。

IPC (5件)：

G21K 1/06 ,  G01B 11/24 ,  G02B 5/10 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G21K 1/06 D ,  G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 G ,  G02B 5/10 C ,  G21K 5/02 X ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 Z ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (16件)：

2F065AA53 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC21 ,  2F065CC31 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2H042DC00 ,  2H042DD05 ,  2H042DE00 ,  5F046GB01