特許
J-GLOBAL ID:200903025080098071

密封容器装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-114918
公開番号(公開出願番号):特開平9-298235
出願日: 1996年05月09日
公開日(公表日): 1997年11月18日
要約:
【要約】【課題】 この発明は第1の容器部材と第2の容器部材とからなる密封容器の気密状態を確実に維持できるようにした密閉容器装置を提供することにある。【解決手段】 一側面が開口した第1の容器部材21と、第1の容器部材にト-ションバ-28によって開閉自在に連結されているとともに第1の容器部材に接合する閉方向に回動させることでト-ションバ-にねじりを与える第2の容器部材22と、第1の容器部材と第2の容器部材との接合面間に設けられこれらの接合状態を密封するシ-ル部材26と、第1の容器部材と第2の容器部材とを接合させたときにその状態で第2の容器部材を回動不能にロックするロック部材34と、ロック部材による第2の容器部材のロック状態が解除されたときに第2の容器部材を開閉駆動する駆動手段51とを具備したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
基板を保持したキャリアを内部に収容する密封容器装置において、一側面が開口した第1の容器部材と、この第1の容器部材にト-ションバ-によって開閉自在に連結されているとともに上記第1の容器部材に接合する閉方向に回動させることで上記ト-ションバ-にねじりを与える第2の容器部材と、上記第1の容器部材と第2の容器部材との接合面間に設けられこれらの接合状態を密封するシ-ル部材と、上記第1の容器部材と第2の容器部材とを接合させたときにその状態で上記第2の容器部材を回動不能にロックするロック手段と、このロック手段による上記第2の容器部材のロック状態が解除されたときに上記第2の容器部材を開閉駆動する駆動手段とを具備したことを特徴とする密封容器装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65D 85/86
FI (2件):
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

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