特許
J-GLOBAL ID：200903025081571331
洗浄方法、および洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-204143
公開番号（公開出願番号）：特開平9-047734
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】簡易な作業によって被洗浄物の洗浄を適切かつ迅速に行えるようにするとともに、洗浄作業によって被洗浄物から除去した付着物を所望の製品の製造用途などに有効に利用できるようにする。【解決手段】被洗浄物表面に付着している付着物を除去するための洗浄方法であって、上記被洗浄物を冷却して被洗浄物表面の付着物を凍結させる工程と、上記凍結した付着物を被洗浄物表面から剥離除去する工程とを有する。
請求項（抜粋）：
被洗浄物表面に付着している付着物を除去するための洗浄方法であって、上記被洗浄物を冷却して被洗浄物表面の付着物を凍結させる工程と、上記凍結した付着物を被洗浄物表面から剥離除去する工程とを有することを特徴とする、洗浄方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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