特許
J-GLOBAL ID：200903025094760443
ウエハボツクス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189268
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086387
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】本発明はウエハボツクスにおいて、簡易な構成で内部に収納したウエハにHFガスによる曇や腐食が生じないようにする。【構成】筐体の所定の位置に通気孔2を穿設し、筐体内部の雰囲気を筐体外部の雰囲気と等しくしたことにより、簡易な構成で内部に発生したHFガスを有効に排出し得、かくしてHFガスによつてウエハに生じる曇や腐食を未然に防止し得る。
請求項（抜粋）：
半導体製造時にウエハを収納して一時保管するウエハボツクスにおいて、筐体の所定の位置に通気孔を穿設し、上記筐体内部の雰囲気を上記筐体外部の雰囲気と等しくしたことを特徴とするウエハボツクス。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/86
