特許

J-GLOBAL ID：200903025106620553

欠陥検査装置

発明者： 斎藤 憲敬 ,  布施 正樹
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158525
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332950
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 単独では良と判定されるべき大きさの欠陥が密集しているため不良と判定されるべき欠陥を識別する。【構成】 ラインCCDカメラ1により撮像された被検査物の画像がコンパレータ4により2値化されて欠陥の幅が2値化され、ランレングス符号化回路5により符号化される。CPU15はこのランレングス符号を連続する複数の走査ラインにわたり連結性処理することにより欠陥の状態を分類しつつ所定の領域における複数の欠陥の走査ライン上の幅の合計値を算出し、この合計値と数に基づいて良または不良と判定する。

請求項（抜粋）：

被検査物の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み取りアナログ信号を出力するラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサからのアナログ信号のレベルを所定値と比較して2値化することにより前記被検査物表面の欠陥を検出する2値化手段と、前記2値化手段により2値化された信号をランレングス符号化する符号化手段と、前記符号化手段により符号化されたランレングス符号を連続する複数の走査ラインにわたり連結性処理することにより前記欠陥の状態を分類しつつ所定の領域における複数の欠陥の走査ライン上の幅の合計値を算出する演算手段と、この合計値と検出された欠陥の個数とから良または不良とを判定する判定手段とを有する欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/89 ,  D06H 3/08 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-245045
  
• 特開昭64-084147
  
• 特開昭60-103487
  
• 特開平3-067159