特許

J-GLOBAL ID：200903025112644812

耐食耐酸化コーティング皮膜の作製方法及びその作製装置

発明者： 浜田 孝浩 ,  齋藤 正弘 ,  高橋 雅士 ,  伊藤 義康
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339221
公開番号（公開出願番号）：特開平9-176859
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】化学蒸着法を利用する利点を活用しつつ、特に冷却路などの複雑形状の被処理品に施す耐食耐酸化コーティング皮膜の特性を最大限に発揮させる。【解決手段】耐食耐酸化コーティング皮膜の作製方法は、ガスタービン翼等の被処理品11の表面上に耐食耐酸化コーティング皮膜14を形成した後にH2 ガス及びHClガスの原料気化器内への流入を停止し、反応容器5内の残存ガスを排出し、その反応容器5内に酸素(O2 )を供給することにより、その酸素と耐食耐酸化コーティング皮膜14とを反応させてその皮膜14の表面上に酸化皮膜15を形成する方法である。

請求項（抜粋）：

耐食耐酸化コーティング皮膜用の金属及びその合金を原料気化器内で加熱すると共に、その原料気化器内にH2 ガス及びHClガスを流入することにより、その両ガスと上記金属及びその合金とを反応させて当該金属の塩化ガスを生成し、その塩化ガスを上記H2 ガスと共に加熱及び減圧状態に調整された反応容器内に供給し、その反応容器内に配置した被処理品に吹きかけることにより、その被処理品の表面上に化学蒸着法に基づく耐食耐酸化コーティング皮膜を形成する耐食耐酸化コーティング皮膜の作製方法において、上記耐食耐酸化コーティング皮膜を形成した後に上記H2 ガス及びHClガスの上記原料気化器内への流入を停止し、上記反応容器内の残存ガスを排出し、その反応容器内に酸素を供給することにより、その酸素と上記耐食耐酸化コーティング皮膜とを反応させて当該耐食耐酸化コーティング皮膜の表面上に酸化皮膜を形成することを特徴とする耐食耐酸化コーティング皮膜の作製方法。