特許

J-GLOBAL ID：200903025115690009

連続加熱炉及びこれを用いた太陽電池製造方法

発明者： 宮澤 彰 ,  町田 智弘 ,  布居 徹
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-297065
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162446
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【構成】 連続搬送方式の加熱炉において、その搬送部の単位体積当たりの熱容量が基板のそれの1/10以下に抑え、その搬送部として単線あるいは複数のより線からなる少なくとも2本の無端条のワイヤで構成されていることを特徴とする連続加熱炉であり、さらに、太陽電池の電極形成工程においてこの連続加熱炉を用いることを特徴とする太陽電池の製造方法。【効果】 本発明により、ヒータからの熱が基板へ効率良く伝えることが可能となり、エネルギー消費量の半減ができるだけでなく、搬送速度を大幅に高速化でき、焼成時間の短縮が可能となり、高スループット化、省エネルギー化及びコスト低減が図れる。特に、太陽電池の製造に用いた場合、従来のメッシュベルト連続加熱炉で製造した太陽電池に較べて、特性が向上し、焼成時間が短縮でき、低コスト化が図れる。

請求項（抜粋）：

連続搬送方式の加熱炉において、該加熱炉の搬送部が、少なくとも2本の無端条ワイヤからなり、前記加熱炉の搬送部の単位体積当たりの熱容量が、搬送される基板の単位体積当たりの熱容量の1/10倍以下であることを特徴とする連続加熱炉。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ,  H01L 31/04

FI (3件)：

H01L 31/04 T ,  H01L 31/04 H ,  H01L 31/04 F