特許

J-GLOBAL ID：200903025118878157

ヘッド及びその形成方法

発明者： フア・ハン ,  ケリー・ディー・リンデン ,  フランシス・ダブリュー・ライアン ,  リー・シー・ボーマン
出願人/特許権者： リード-ライト コーポレーション
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-022886
公開番号（公開出願番号）：特開2000-222714
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】 スライダの空気ベアリング面(ABS)の耐久性を有するランディングパッドを、フィルタ陰極アーク蒸着によって四面体構造非晶質炭素(t-aC)で形成する。ABSの硬質炭素オーバコート膜を穿孔して、パッドを定着させる。t-aCは極めて硬質で応力が大きく、パッドを応力軽減材料で積層体にすることができる。回転させながら斜め方向にイオンミリングのようなエッチングを行って、硬質炭素オーバコート膜にアンダーカットを形成し、パッドを更に定着させる。また、回転させながら斜め方向にt-aCを付着して、パッド上部を丸くすることができ、パッド上部はトリミングにより角部を滑らかにすることができる。

請求項（抜粋）：

相対的に移動する剛性ディスク上の情報を読出又は書き込むためのヘッドであって、変換器を備え、かつディスク対向面により後縁部から分離された前縁部を有し、前記ディスク対向面が空気ベアリング部及び凹部を有し、前記空気ベアリング部が基板上に形成された硬質炭素オーバコート膜を有する本体と、前記本体に取り付けられ、前記空気ベアリング部から突出し、かつ前記硬質炭素オーバコート膜を貫通し、それぞれにsp3混成軌道が作る結合によって結合された炭素原子からなるパッド材料を含む、複数の微小パッドとを有することを特徴とするヘッド。

IPC (2件)：

G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 B ,  G11B 5/60 Z ,  G11B 21/21 101 P