感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089658
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】良好なi線加工性、耐酸化劣化性、密着性を有し、かつ、現像後のパターンがアルカリ水溶液で剥離可能であるi線露光用感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を有し、該構造単位の分子量が600以下であり、(b)一般式(7)で表されるアミン化合物を含む感光性ポリイミド前駆体であって、厚さ10μmのプリベーク膜の365nmにおける光線透過率が3%〜70%であることを特徴とするi線露光用感光性ポリイミド前駆体組成物。(R1は4価の有機基を表し、R2は2価の有機基であって、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種を表す。)(R8、R9、R10は炭素数1〜30の有機基を表し、うち、少なくとも1つはエチレン性不飽和結合を含む。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を有し、該構造単位の分子量が600以下であり、(b)一般式(7)で表されるアミン化合物を含む感光性ポリイミド前駆体であって、厚さ10μmのプリベーク膜の365nmにおける光線透過率が3%〜70%であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価の有機基を表し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基であって、うち5〜40モル%は下記一般式(2)で表されるジアミン残基、残ったR2のうち20〜95モル%は下記一般式(3)で表されるジアミン残基、さらに残ったR2のうち30〜100モル%は下記一般式(4)、一般式(5)、一般式(6)で表されるジアミン残基より選ばれた少なくとも1種のジアミン残基を表し、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種を表し、うち50〜100モル%は水素からなる。ただし一般式(4)は一般式(2)と同じ化合物であることを除く。)【化2】(X1は単結合、-O-、-S-、-NH-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-SO2-から選ばれた少なくとも1種を表す。)【化3】(R4、R5は水素または-CF3から選ばれた少なくとも1種を表し、X2は単結合、-O-、-S-、-NH-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-SO2-から選ばれた少なくとも1種を表す。)【化4】【化5】【化6】(R6、R7は水素または-CF3から選ばれた少なくとも1種を表し、X3、X4、X5は単結合、-O-、-S-、-NH-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-SO2-から選ばれた少なくとも1種を表す。)【化7】(R8、R9、R10は炭素数1〜30の有機基を表し、うち、少なくとも1つはエチレン性不飽和結合を含む。)

IPC (7件)：

C08L 79/08 , C08G 73/10 , C08K 5/17 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , H01L 21/027

FI (7件)：

C08L 79/08 A , C08G 73/10 , C08K 5/17 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , H01L 21/30 502 R

Fターム (49件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC81 , 2H025BC87 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CB25 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EN026 , 4J002EN096 , 4J002EP016 , 4J002EU046 , 4J002EU236 , 4J002GP03 , 4J002GQ05 , 4J002HA05 , 4J043PA02 , 4J043PC075 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TB01 , 4J043UA032 , 4J043UA122 , 4J043UA132 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA021 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043YA06 , 4J043ZB03

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