特許

J-GLOBAL ID：200903025122303703

プローブカード、プローブカード用同軸プローブ針、及びその製造方法

発明者： 丸茂 博 ,  根岸 伸行
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社 ,  株式会社潤工社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099220
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 テスタ側とのインピーダンス整合が図れて信号反射の低減やクロストークなど誘導ノイズの抑制効果が大きく、優れたテスティング特性が得られ、垂直針タイプの超高密度プローブカードへの実装針として最適となるプローブカード用同軸針を提供することにある。【構成】 互いに絶縁されたプリント基板およびアース基板を有する基板アッセンブリと、この基板アッセンブリに支持され、その先端が被検査回路のパッドに対して実質的に垂直に接触される同軸プローブ針アッセンブリと、を備え、前記同軸プローブ針アッセンブリは、被検査回路のパッドに接触される先端部を含む中心導体と、この中心導体の先端部を除く部分を覆い、中心導体と導通するホルダ導体と、このホルダ導体を取り囲む誘電体と、この誘電体を介して前記ホルダ導体と同軸に設けられた周囲導体と、この周囲導体を覆うシースと、を有し、前記ホルダ導体の端末部はプリント基板の回路に電気的に接続され、前記周囲導体の端末部はアース基板の回路に電気的に接続される。

請求項（抜粋）：

テスタに電気的に接続されるとともに、被検査回路に電気的に接触導通し、テスタと被検査回路との間でテスト信号を伝送するために用いられるプローブカードであって、互いに絶縁されたプリント基板およびアース基板を有する基板アッセンブリと、この基板アッセンブリに支持され、その先端が被検査回路のパッドに対して実質的に垂直に接触される同軸プローブ針アッセンブリと、を備え、前記同軸プローブ針アッセンブリは、被検査回路のパッドに接触導通される先端部を含む中心導体と、この中心導体の先端部を除く部分を覆い、中心導体と導通するホルダ導体と、このホルダ導体を取り囲む誘電体と、この誘電体を介して前記ホルダ導体と同軸に設けられた周囲導体と、この周囲導体を覆うシースと、を有し、前記ホルダ導体の端末部はプリント基板の回路に電気的に接続され、前記周囲導体の端末部はアース基板の回路に電気的に接続されることを特徴とするプローブカード。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26