特許
J-GLOBAL ID：200903025127581086
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319549
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158835
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】ラックとピニオンが噛み合う瞬間の台車速度を一時的に遅くすることにより基板処理速度を低下させることなくラックとピニオンの摩耗および位置ずれの発生寿命を大幅に延長する搬送装置を提供すること。【解決手段】分離された複数の空間(10〜12)の間で搬送台車3を移動させる搬送装置において、複数の空間(10〜12)に複数のピニオン71〜74を設けるとともに、搬送台車3にラック4を設け、複数のピニオン71〜74のうち少なくとも一つを回転駆動することで複数のピニオン71〜74全てを回転駆動する駆動手段(5,6,7)を備え、駆動手段(5,6,7)により複数のピニオン71〜74全てを回転駆動することで、複数のピニオン71〜74に噛み合う前記ラック4を設け、噛み合いの時のみピニオン軸の回転を低減することによりラックとピニオンの摩耗をほぼ皆無にするように搬送台車3を移動する。
請求項（抜粋）：
分離された複数の空間の間で搬送台車を移動させる搬送装置において、前記複数の空間に複数のピニオンを設けるとともに、前記搬送台車にラックを設け、前記複数のピニオンのうち少なくとも一つを回転駆動することで前記複数のピニオン全てを回転駆動する駆動手段を備え、前記駆動手段により前記複数のピニオン全てを回転駆動することで、前記複数のピニオンに噛み合う前記ラックを設けた前記搬送台車が複数の空間を移動することを特徴とする搬送装置。
引用特許：
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