気体放電表示パネルにおける電極の形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土井育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-312115
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167373
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】フォトリソ法の高い加工精度を維持しつつ、生産性および環境対応性に優れた電極形成方法を提供する。【構成】基板2上に感光性樹脂22の層を形成し、電極パターンを配置した遮光マスク23を介してこの感光性樹脂22を露光してから現像して凹部22aを形成した後、この凹部22aに導電性ペースト24を埋め込み、導電性ペースト24の乾燥を行ってから感光性樹脂22を基板より剥離することで導電性ペースト24を所定の形状にパターニングし、さらに導電性ペースト24を焼成して電極を形成する。この方法ではフォトリソ法で形成した凹部22aに導電性ペースト24を埋め込んで電極を形成するため高い加工精度が維持でき、しかもエッチング工程を必要としないため生産性および環境対応性に優れる。

請求項（抜粋）：

複数の電極群が前面板と背面板の対向する板面上に配置されてなる気体放電表示パネルにおける少なくとも一方の板面上に配置された電極群を形成する方法であって、(1)基板上に感光性樹脂の層を形成する第1工程(2)電極群のパターンを所定の位置に配置した遮光マスクを介して前記感光性樹脂の露光を行った後、パターン現像を行って所定の位置に凹部を形成する第2工程(3)前記感光性樹脂の凹部に導電性ペーストを埋め込んだ後、該導電性ペーストの乾燥を行う第3工程(4)前記感光性樹脂を剥離する第4工程(5)前記導電性ペーストを焼成する第5工程の各工程を少なくとも含むことを特徴とする気体放電表示パネルにおける電極の形成方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-163727
特開平3-001421
特開平3-163727

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