磁気ヘッド及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178458
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045045
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】薄膜磁気ヘッドに耐磨耗性と耐食性の両方を付与する。【構成】磁気素子表面を含むスライダー浮上面上に、CVD法でSiN、SiON膜、さらにその上にダイヤモンド様カーボン(DLC)膜を成膜する。成膜をスライダー浮上面の形成(スライダー加工)前に行なうことにより、スライダー加工中の腐食も防止できる。

請求項（抜粋）：

スライダ部と、磁気変換素子を有するヘッド素子部を備え、前記スライダ部及び前記ヘッド素子部の前記磁気変換素子の先端が形成される側に浮上面を有する磁気ヘッドにおいて、前記ヘッド素子部の浮上面側に前記磁気変換素子の腐食を防止する第1の保護膜と、前記第1の保護膜上に形成された前記磁気変換素子の磨耗を防止する第2の保護膜を有することを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (4件)：

G11B 5/60 , G11B 5/187 , G11B 21/21 101 , G11B 21/21

引用特許：

審査官引用 (5件)

磁気ヘッドスライダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-327439 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-091814
特開平4-276367

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