ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393019
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196482
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】ラインエッジラフネス及び、ハーフトーン位相シフトマスクを用いてパターニングした場合に表面ラフネスの問題が生じない化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】特定の構造で示される基を含有する構造単位を有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂を少なくとも2種、(b)特定の構造で表される活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の群から選択される少なくとも一種、及び特定の構造で表されるジアゾジスルホン構造を有し、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(X)で示される基を含有する構造単位を有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂を少なくとも2種、(b)下記一般式(I)〜(IV)で表される活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の群から選択される少なくとも一種、及び下記一般式(V)で表されるジアゾジスルホン構造を有し、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(X)中、R1、R2は同一でも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基を表す。Zは置換基を有していてもよい、炭素数1〜10のアルキル基、シクロアルキル基を表す。mは1〜20の整数を表す。【化2】一般式(I)〜(IV)中、R4〜R6は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子を表す。R7は、下記の一般式(a)で表される基、炭素数3〜16個の置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基を表す。【化3】一般式(a)中、R9は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基を表す。R10は、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基を表す。xは2〜4の整数を表す。但し、xが2または3の場合、R10のうち少なくとも2つは置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基を表す。R8は、下記の一般式(b)で表される基、炭素数3〜16個の置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基を表す。【化4】一般式(b)中、R9は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基を表す。R11は、ハロゲン原子、置換基を有する、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基を表す。xは2〜4の整数を表す。但し、xが2または3の場合、R11のうち少なくとも2つは置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基を表す。【化5】一般式(V)中、R12、R13は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基を表す。

IPC (12件)：

G03F 7/004 503 , C08F212/06 , C08F212/14 , C08K 5/04 , C08K 5/375 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 25/02 , C08L 25/18 , C09K 3/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (12件)：

G03F 7/004 503 A , C08F212/06 , C08F212/14 , C08K 5/04 , C08K 5/375 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 25/02 , C08L 25/18 , C09K 3/00 K , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (44件)：

2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF15 , 2H025BG00 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J002BC04W , 4J002BC04X , 4J002BC08W , 4J002BC08X , 4J002BC12W , 4J002BC12X , 4J002EM006 , 4J002EV046 , 4J002EV217 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J100AB02R , 4J100AB04R , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA05P , 4J100BA05R , 4J100BA06R , 4J100BA15R , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA38

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