特許
J-GLOBAL ID:200903025148087049
ガスバリア性反射防止フィルム及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-088277
公開番号(公開出願番号):特開2004-291464
出願日: 2003年03月27日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】優れたガスバリア性能と反射防止性能とを兼備するガスバリア性反射防止フィルムを提供する。【解決手段】有機フィルム2の表面に、高屈折率透明膜4A,4Bと低屈折率透明膜3A,3Bとの積層膜よりなる反射防止層5が形成されてなる反射防止フィルム1。積層膜の少なくとも一層は、ガスバリア性スパッタ膜4Aである。このガスバリア性スパッタ膜4Aを、ターゲットを設けた複数のカソードに交互に間欠的な電圧を印加して成膜する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
有機フィルムの表面に、高屈折率層と低屈折率層との積層膜よりなる反射防止層が形成されてなる反射防止フィルムであって、
該積層膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層のうちの少なくとも一層が、ピンホールやクラック等の欠陥の少ないガスバリア性スパッタ膜よりなることを特徴とするガスバリア性反射防止フィルム。
IPC (6件):
B32B7/02
, C23C14/08
, C23C14/10
, C23C14/34
, G02B1/10
, G02B1/11
FI (6件):
B32B7/02 103
, C23C14/08 E
, C23C14/10
, C23C14/34 N
, G02B1/10 A
, G02B1/10 Z
Fターム (51件):
2K009AA02
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 2K009EE00
, 4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA19B
, 4F100AA19C
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AA21B
, 4F100AA21C
, 4F100AA27B
, 4F100AA27C
, 4F100AA28B
, 4F100AA28C
, 4F100AA29B
, 4F100AA29C
, 4F100AA33B
, 4F100AA33C
, 4F100AK01A
, 4F100AK41A
, 4F100AR00B
, 4F100AR00C
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA26
, 4F100EH66
, 4F100GB41
, 4F100JD02
, 4F100JD02B
, 4F100JK14
, 4F100JK14B
, 4F100JK14C
, 4F100JM02B
, 4F100JM02C
, 4F100JN06
, 4F100JN08
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA46
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA06
, 4K029DC05
, 4K029DC35
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