特許
J-GLOBAL ID：200903025148476339
多電極型放電用電源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牧 哲郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-161379
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330079
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】電源の周波数を低くしても、プラズマが等価的に周波数が高い場合と同等になり、電極に絶縁物が付着しても、低いガス圧力下でも放電が困難とならず、プラズマ・パラメータの時間変動を小さくする交流放電電源装置。【構成】マスター発振器1からの信号を電力分割器2により複数個に分割し、移相器3および電力増幅器4を用いてそれぞれの位相および振幅を設定する。この時、発振周波数、位相および振幅は制御装置7により統括して制御・調整する。そして、最終出力を変成器5を通して得、放電容器内に配置した複数個の電極6にそれぞれ給電する。変成器5の出力側の一端は全て共通に接続し、一般的には浮遊電位のままにしておき、放電を電極6間のみで発生させる。電極6の位相や振幅は同じ値を持つ場合を含めて任意とし、応用対象に最も適切な位相配列や振幅の調整を行う。また、電極6の形や配置も任意とする。
請求項（抜粋）：
交流電力を複数の電力に分割する電力分割手段と、前記電力分割手段による複数の分割電力の位相を任意に制御する位相制御手段と、放電室内に配置した多電極型放電電極と、前記多電極型放電電極に給電する順序を任意に設定する給電順序設定手段と、を備え、前記複数の位相制御電力を前記多電極型放電電極に任意に設定された順序で給電することを特徴とする位相制御多電極型交流放電電源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 41/16 Z
, H01J 61/92 J
