特許

J-GLOBAL ID：200903025149159043

電界放射型走査電子顕微鏡

発明者： 山田 篤
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286186
公開番号（公開出願番号）：特開2000-113845
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 コンデンサレンズを小さくしても試料に照射される電子ビームの電流量を広範囲に変えることができる電界放射型走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 エミッタと引出電極と加速電極とを備えた電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビームを集束するためのコンデンサレンズと、対物レンズと、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設けられた対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照射される照射電流を変化させるようにした電界放射型走査電子顕微鏡において、照射電流を指定する手段と、該指定手段による指定照射電流に基づいて電界放射型電子銃の引出電圧と前記コンデンサレンズの励磁強度を設定する設定手段を備えて構成する。

請求項（抜粋）：

エミッタと引出電極と加速電極とを備えた電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビームを集束するためのコンデンサレンズと、対物レンズと、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設けられた対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照射される照射電流を変化させるようにした電界放射型走査電子顕微鏡において、照射電流を指定する手段と、該指定手段による指定照射電流に基づいて電界放射型電子銃の引出電圧と前記コンデンサレンズの励磁強度を設定する設定手段を備えたことを特徴とする電界放射型走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/073 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/073 ,  H01J 37/28 B

Fターム (4件)：

5C030CC07 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU02