特許

J-GLOBAL ID：200903025150931574

アルゴン精製方法及び装置

発明者： セオドー・フリンジリン・フイシヤー
出願人/特許権者： ユニオン・カーバイド・インダストリアル・ガセズ・テクノロジー・コーポレイシヨン
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072200
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078108
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 流量及び不純物の濃度レベルが広く変わる条件下で有効に用いることができる改善されたアルゴンの精製方法及び装置を提供する。【構成】 周囲温度でのモレキュラーシーブ吸着工程(101,102) と、周囲温度での化学吸着工程(103,104) と、特に精製したアルゴンの液化に有用な低温での吸着工程(105,106) と含むアルゴン精製装置及びその方法である。

請求項（抜粋）：

アルゴンの精製方法であって、(a) 酸素、窒素、水蒸気、水素、一酸化炭素、二酸化炭素及び炭化水素の少なくとも一種の不純物を含む気体アルゴン流を提供し、(b) 気体アルゴン流を、モレキュラーシーブ吸着剤を含む周囲温度の床に流し、吸着剤に水蒸気及び/または二酸化炭素を吸着させ、(c) 気体アルゴン流を、触媒物質を含む周囲温度の床に流し、該物質に酸素、水素及び/または一酸化炭素を化学吸着させ、(d) 気体アルゴン流を、吸着剤を含む低温の床に流し、該吸着剤に窒素及び/または炭化水素を吸着させ、そして、(e) 精製したアルゴン流を回収することを含む上記方法。

IPC (5件)：

C01B 23/00 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/36 ,  B01D 57/00 ,  F25J 3/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-107910
  
• 特開昭59-152210
  
• 特開昭60-221683
  
• 特開昭62-119104