特許
J-GLOBAL ID：200903025153208571
変位・間隔計測用光学ヘッド、変位・間隔計測装置及びこの装置を用いたICリード検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275098
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136246
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、被測定物が金属面でも安定して高さ方向変位と横方向間隔を同時に精度よく計測することを目的とする。【構成】 被測定物6に投光した互いのスポット光が所定角度2θをもって1点Oで交差するように配置された第1、第2のスポット光投光器1a,1bと、第2のスポット光投光器1bのスポット光光軸上に配置された第1のハーフミラー2aと、第1のスポット光投光器1aのスポット光光軸上に配置された第2のハーフミラー2bと、第1のスポット光投光器1aのスポット光が被測定物6及び第1のハーフミラー2aで反射した反射光を受光する第1の受光センサ4aと、第2のスポット光投光器1bのスポット光が被測定物6及び第2のハーフミラー2bで反射した反射光を受光する第2の受光センサ4bとを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被測定物に投光した互いのスポット光が所定の角度をもって1点で交差するように配置された第1、第2のスポット光投光器と、前記第2のスポット光投光器からのスポット光の光軸上に配置され前記第1のスポット光投光器からのスポット光が前記被測定物で反射した反射光を反射する第1のハーフミラーと、前記第1のスポット光投光器からのスポット光の光軸上に配置され前記第2のスポット光投光器からのスポット光が前記被測定物で反射した反射光を反射する第2のハーフミラーと、前記第1のハーフミラーからの反射光を受光する第1の受光センサと、前記第2のハーフミラーからの反射光を受光する第2の受光センサとを有することを特徴とする変位・間隔計測用光学ヘッド。
IPC (5件)：
G01C 3/06
, G01B 11/00
, G01B 11/02
, G01B 11/14
, G01N 21/88
