特許
J-GLOBAL ID：200903025154851095
パターン検査装置とその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310190
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167638
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】パターン検査装置でえられた欠陥を光学的に自動分類できるパターン検査装置を提供する。【構成】対物レンズを介して対象物の検出視野においてほぼ一様に照明を施す照明手段と、前記対象物からの反射光を光電変換により画像とする画像検出手段と、前記検出画像と基準画像との画像比較手段と、対物レンズの開口数の外より対象物に照明を施す照明手段と前記対象物からの散乱光を光電変換により画像検出手段と、この2つの画像より欠陥の種類を自動分類する手段を具備することを特徴とするパターン検査装置。【効果】パターン欠陥と異物を同時に検出することができ、これらのデータを比較することにより、パターン欠陥と異物を弁別することができるパターン検査装置を提供することができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズを介して対象物の検出視野においてほぼ一様に照明を施す照明手段と、前記対象物からの反射光を光電変換により画像とする画像検出手段と、前記検出画像と基準画像との画像比較手段と対物レンズの開口数の外より対象物に照明を施す照明手段と前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に空間フィルタを具備し、前記対象物からの散乱光を光電変換により画像とする瞳視野画像検出手段と具備することを特徴とするパターン検査装置。
引用特許：
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