特許

J-GLOBAL ID：200903025157885535

光学鏡筒及びそのクリーニング方法

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031359
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231897
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 電子線縮小転写装置等において、開口の裏面や下流もクリーニングされ、さらに酸化膜が形成され難い光学鏡筒及びそのクリーニング方法を提供する。【解決手段】 本発明の光学鏡筒は、エネルギ線光源から試料に至る光学系を収容するもので、(i )放電室18で酸素ラジカルを発生させ、排気配管9から排気する手段、(ii)酸素を酸素ガスボンベ20’から鏡筒内に導入し、鏡筒内の絶縁されたブランキング偏向器9と接地されたライナチューブ7の間に高周波数放電を起こす手段、(iii )酸素を酸素ガスボンベ20’から鏡筒内に導入し、鏡筒内の開口の周辺を電子銃からのエネルギ線で走査しながら照射する手段、のうち少なくとも2つを備える。

請求項（抜粋）：

エネルギ線光源から試料に至る光学系を収容する光学鏡筒であって;絶縁物の表面に薄く導体をコーティングした真空部品を含み、(i )鏡筒内の真空容器の一方から酸素ラジカルを導入して真空容器の他方から排気する手段、(ii)酸素を鏡筒内に導入し、鏡筒内の絶縁された金属部品と接地された金属部品の間に高周波数放電を起こす手段、(iii )酸素を鏡筒内に導入し、鏡筒内の開口の周辺をエネルギ線で走査しながら照射する手段、のうち少なくとも2つを備えることを特徴とする光学鏡筒。

IPC (4件)：

H01J 37/16 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/16 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01L 21/30 541 Z ,  H01L 21/30 541 G

Fターム (11件)：

2H097BA04 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG02 ,  5C033GG07 ,  5C033KK01 ,  5C033KK09 ,  5F056AA40 ,  5F056CB01 ,  5F056CB40 ,  5F056EA04