特許
J-GLOBAL ID：200903025164224200
走査型トンネル顕微鏡用劈開・剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-335257
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192677
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 大気圧型STMにおいて観察雰囲気下において試料の劈開あるいは剥離処理を容易かつ確実に行う。【構成】 探針及び試料を含む観察部を外気から遮蔽する筐体と、当該筐体内部のベースプレート上でスライド可能な試料ステージと、当該試料ステージに載置される試料ホルダとを備え、大気圧雰囲気で試料の観察を行う走査型トンネル顕微鏡において、前記試料ホルダの上面に載置され、当該上面に接しながら試料に向けて摺動可能な試料押圧部材と、前記試料ホルダの上面に固定され、当該試料押圧部材の摺動方向を規制するガイド部材と、当該試料押圧部材とガイド部材とを連結する弾性部材と、前記筐体内面に取り付けられ、前記試料ステージのスライドにより前記試料押圧部材の端部に当接して相対的に押圧力を与えるための固定部材とを設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
探針及び試料を含む観察部を外気から遮蔽する筐体と、当該筐体内部のベースプレート上でスライド可能な試料ステージと、当該試料ステージに載置される試料ホルダとを備え、雰囲気中で試料の観察を行う走査型トンネル顕微鏡において、前記試料ホルダの上面に載置され、当該上面に接しながら試料に向けて摺動可能な試料押圧部材と、前記試料ホルダの上面に固定され、当該試料押圧部材の摺動方向を規制するガイド部材と、当該試料押圧部材とガイド部材とを連結する弾性部材と、前記筐体内面に取り付けられ、前記試料ステージのスライドにより前記試料押圧部材の端部に当接して相対的に押圧力を与えるための固定部材とを設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用劈開・剥離装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01N 1/28
, G01N 37/00
