特許

J-GLOBAL ID：200903025169810417

荷電粒子ビーム偏向装置及びそれを用いた荷電粒子ビーム欠陥検査装置及び方法

発明者： 任 偉明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-034677
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237270
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】 一様な電場を生成し、検出面上に結像される像の歪みを小さく抑えて二次ビームの軌道を修正することのできる荷電粒子ビーム偏向装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム欠陥検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 円周上に等間隔、かつ、円周の中心Oから隣り合う二つの電極の間を見込む角αと、円周の中心Oから電極を見込む角βが等しくなるように配列された8個の電極71〜78と、電極71〜78に電圧を印加する電源71a〜78aと、電源71a〜78aを制御するビーム偏向装置制御部79とを設けてビーム偏向装置Aを構成し、偏向電場生成制御系79aと、第1一様電場生成制御系79bと、第2一様電場生成制御系79cとによって、電極71〜78に配分される電圧値を調整して円周内に生成される電場が一様になるよう構成する。

請求項（抜粋）：

円周上に等間隔に配列された複数の電極と、前記電極に電圧を印加する電圧印加装置とを備え、前記電極に前記電圧印加装置により所定の電圧を印加することにより、前記円周内に電場を生成して前記円周内を通過する荷電粒子ビームを偏向するように構成された荷電粒子ビーム偏向装置であって、前記円周の中心から隣り合う二つの前記電極の間を見込む角αと、前記円周の中心から前記電極を見込む角βとの関係が、0.5≦α/β≦2であることを特徴とする荷電粒子ビーム偏向装置。

IPC (8件)：

H01J 37/147 ,  G01N 23/225 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/302 ,  G21K 1/093 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/29

FI (8件)：

H01J 37/147 B ,  G01N 23/225 ,  G01R 31/02 ,  G21K 1/093 D ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/29 ,  G01R 31/28 L

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA05 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001KA03 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G014AA01 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC11 ,  2G132AA00 ,  2G132AD15 ,  2G132AF12 ,  5C033FF03 ,  5C033FF08 ,  5C033UU01 ,  5C033UU04