特許
J-GLOBAL ID：200903025171057041
研磨方法および研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286358
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134666
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 研磨工具の揺動により発生する不要な振動を防止できる研磨装置を提供する。【構成】 リニアモータテーブル10bには定圧機構2、工具保持機構3および工具4の質量の総和と総和と等価のカウンターマス11がネジにより固定されている。リニアモータテーブル10bはリニアモータテーブル10aに対して、反対方向に移動するように駆動され、揺動による振動の発生を防止する。
請求項（抜粋）：
被加工物の被研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操作を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨方法であって、前記研磨工具は前記被研磨面上をX軸、Y軸、および、Z軸上を移動制御を受けるとともに、前記X軸、Y軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち消す作用を伴って移動操作が行われるようにしたことを特徴とする研磨方法。
IPC (4件)：
B24B 41/04
, B23Q 15/22
, B24B 47/10
, B24B 49/10
