特許
J-GLOBAL ID：200903025179483414

枚葉式洗浄方法及び洗浄装置

発明者：
副島 潤一郎

副島 潤一郎 について

, 
長谷川 浩史

長谷川 浩史 について


出願人/特許権者：
株式会社カイジョー

株式会社カイジョー について


代理人 (2件)： 藤井 紘一 ,  依田 孝次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-316477
公開番号（公開出願番号）：特開2005-085978
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 洗浄対象物が半導体ウエハーの場合に、パターン形成の有無に関わらず対応した洗浄が可能であり、また他の洗浄対象物の場合でも汚れ具合に応じて自在選択して洗浄することができる枚葉式洗浄方法及び洗浄装置の提供にある。【解決手段】洗浄対象物の一面を支持する回転テーブル22と、これに支持された洗浄対象物の他面に対向配置される異なる振動数で振動する複数の振動素子30と、該振動素子と洗浄対象物との間に洗浄液を供給する液供給ノズル36と、回転テーブル22を振動素子面に対し平行移動させるモータ26と、前記振動素子を異なる周波数で超音波振動させる超音波発振器34とを備え、回転テーブル22に支持された洗浄対象物を移動させながら振動素子30を超音波振動させて介在する洗浄液により洗浄対象物面を洗浄する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被洗浄物の一面を支持部材によって支持させると共に、該被洗浄物の他面に振動素子を対向配置し、該振動素子と被洗浄物との間に洗浄液を供給して、前記支持部材を前記振動素子面に対し平行移動させながら前記振動素子を超音波振動させて介在する洗浄液により前記被洗浄物の他面を洗浄する枚葉式洗浄方法であって、 前記振動素子複数の振動素子で構成し、それぞれを異なる振動数で振動させて被洗浄物面を洗浄するようにしたことを特徴とする枚葉式洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L21/304 ,  B08B3/12
FI (3件)：
H01L21/304 643B ,  H01L21/304 643A ,  B08B3/12 C
Fターム (9件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB34 ,  3B201AB39 ,  3B201AB47 ,  3B201BB22 ,  3B201BB84 ,  3B201BB92
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ウェハ洗浄装置
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-516502   出願人：バーテックインコーポレーテッド
  • ウエット処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-036061   出願人：大見忠弘, アルプス電気株式会社, 株式会社カイジョー
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-213826
  • 基板洗浄方法及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-286730   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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