輪郭形状の欠陥検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：秋田収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-298735
公開番号（公開出願番号）：特開2003-109017
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：

【要約】【目的】製品のマーク欠陥の検査(認識)を正確に行う。製品の外観検査を正確に行う。【解決手段】テンプレート画像を入力し、この入力されたテンプレート画像のエッジ情報を抽出し、この抽出されたエッジ情報の歪みを補正し、この補正されたエッジ情報からRテーブルを作成し、このRテーブルを用いて2次元画像の欠陥検査テンプレートを作成し、一方、ワーク画像を入力し、このワーク画像のエッジ情報を抽出し、この抽出されたエッジ情報の歪みを補正し、この歪み補正されたエッジ情報を前記Rテーブルを用いて一般化ハフ変換し、その変換された情報の位置、角度、及び大きさを補正し、この補正されたエッジ情報からエッジ画像を再生し、この再生されたエッジ画像と前記欠陥検査テンプレートとを比較し、その差画像により欠陥検査を行う輪郭形状の欠陥検査方法。

請求項（抜粋）：

テンプレート画像を入力し、この入力されたテンプレート画像のエッジ情報を抽出し、この抽出されたエッジ情報の歪みを補正し、この補正されたエッジ情報からRテーブルを作成し、このRテーブルを用いて2次元画像の欠陥検査テンプレートを作成し、一方、ワーク画像を入力し、このワーク画像のエッジ情報を抽出し、この抽出されたエッジ情報の歪みを補正し、この歪み補正されたエッジ情報を前記Rテーブルを用いて一般化ハフ変換し、その変換された情報の位置、角度、及び大きさを補正し、この補正されたエッジ情報からエッジ画像を再生し、この再生されたエッジ画像と前記欠陥検査テンプレートとを比較し、その差画像により欠陥検査を行うことを特徴する輪郭形状の欠陥検査方法。

IPC (6件)：

G06T 7/60 300 , G06T 7/60 200 , G01B 11/24 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 1/00 300

FI (6件)：

G06T 7/60 300 A , G06T 7/60 200 H , G01B 11/30 Z , G01N 21/88 J , G06T 1/00 300 , G01B 11/24 K

Fターム (34件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB27 , 2F065DD00 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065QQ00 , 2F065QQ24 , 2F065QQ32 , 2F065QQ38 , 2F065RR07 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 2G051ED12 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC16 , 5B057DC36 , 5L096BA03 , 5L096FA06 , 5L096FA24 , 5L096GA06 , 5L096JA11

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