特許
J-GLOBAL ID:200903025199602916

非晶質炭素膜が被覆された樹脂基体及び成膜方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加々美 紀雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-218831
公開番号(公開出願番号):特開2001-049433
出願日: 1999年08月02日
公開日(公表日): 2001年02月20日
要約:
【要約】【課題】 極めて高い硬度と極めて高い透明性を両立できた非晶質炭素膜が被覆された樹脂基体とその成膜方法を提供すること。【解決手段】 樹脂基体と炭素膜との界面層から炭素膜の最外表面層にかけて炭素膜中含有水素原子濃度が傾斜的に減少するように非晶質炭素膜を樹脂基体に被覆する。
請求項(抜粋):
樹脂基体と炭素膜との界面層から炭素膜の最外表面層にかけて炭素膜中含有水素原子濃度が傾斜的に減少するように非晶質炭素膜が被覆された樹脂基体。
IPC (3件):
C23C 16/26 ,  C08J 7/04 CFD ,  C08L101:00
FI (2件):
C23C 16/26 ,  C08J 7/04 CFD D
Fターム (14件):
4F006AA22 ,  4F006AA36 ,  4F006AB73 ,  4F006BA02 ,  4F006BA07 ,  4F006CA08 ,  4F006DA01 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA61 ,  4K030BB05 ,  4K030CA01 ,  4K030FA01 ,  4K030LA01

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