特許
J-GLOBAL ID：200903025200462384
エンドポイントモニタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128487
公開番号（公開出願番号）：特開平6-318571
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 汎用性に優れたエンドポイントモニタを提供する。【構成】 エンドポイントモニタは、所定の加工を行なう処理装置1に接続されるポリクロメータ2と、コンピュータ3とから構成されている。ポリクロメータ2は、加工中該処理装置1に発生する広帯域の光を受光して複数のスペクトルに分別可能であり、これらスペクトルの強度変化を経時的に計測して対応する波形信号を出力する。コンピュータ3は、定式化及び簡略化されたプログラム言語を用いて所望の終点検出アルゴリズムを自由且つ随意にプラグラミング可能であり、少なくとも一個の特異的な波形信号を該終点検出アルゴリズムに従い演算処理して該加工の終点検出を行なう。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハの加工を行なう処理装置に接続されるポリクロメータと、コンピュータとからなるエンドポイントモニタであって、前記ポリクロメータは、加工中該処理装置に発生する広帯域の光を受光して複数のスペクトルに分別可能であり、これらスペクトルの強度変化を経時的に計測して対応する波形信号を出力するとともに、前記コンピュータは、定式化及び簡略化されたプログラム言語を用いて所望の終点検出アルゴリズムを随意にプログラミング可能であり、少なくとも一個の特異的な波形信号を該終点検出アルゴリズムに従い演算処理して該加工の終点検出を行なうエンドポイントモニタ。
IPC (4件)：
H01L 21/302
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64
, H01L 21/205
