特許
J-GLOBAL ID：200903025204540789
非金属介在物の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286746
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145984
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【構成】 撮像装置11により撮像された画像データに関する濃度勾配K、濃度標準偏差σを算出する算出手段122c、及びこれら濃度勾配K、濃度標準偏差σと、予め設定しておいた非金属介在物及び誤認要因を分別するしきい値KCO、σCOとを比較することにより非金属介在物であるか誤認要因であるかを判断する比較判断手段122dを含んで分別装置12が構成されている非金属介在物の検査装置10。【効果】 非金属介在物と誤認要因との濃度プロファイルにはそれぞれ差異があり、誤認要因に比べて非金属介在物の濃度勾配K及び濃度標準偏差σの方が小さく、このため、これらを容易に自動的に分別することができる。この結果、誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関して測定・分類を行なうことができ、定量解析を正確に実施することができる。
請求項（抜粋）：
被検査体を撮像する撮像装置と、該撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物及び非金属介在物誤認要因を分別する分別装置と、該分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成される非金属介在物の検査装置であって、前記撮像装置により撮像された画像データに関する濃度勾配K、濃度標準偏差σを算出する算出手段、及びこれら濃度勾配K、濃度標準偏差σと、予め設定しておいた非金属介在物及び非金属介在物誤認要因を分別するしきい値KCO、σCOとを比較することにより非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを判断する比較判断手段を含んで前記分別装置が構成されていることを特徴とする非金属介在物の検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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