電子顕微鏡などにおける像信号処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092551
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290782
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】走査電子顕微鏡像などの電子顕微鏡による像と、光学像とを同一の信号処理系で取り扱うことを可能とする電子顕微鏡などにおける像信号処理装置を実現する。【構成】第2の陰極線管10を光学像のモニターとして使用する場合、第2の陰極線管10は標準のテレビジョン走査速度で用いられ、スイッチS1は、図の実線の状態に切り換えられる。その結果、第2の陰極線管10により光学像が、第1の陰極線管6により走査電子顕微鏡像が観察される。例えば、第1の陰極線管6を標準のテレビジョン走査速度で用いて走査電子顕微鏡像を表示し、第2の陰極線管10にTVカメラ8によって撮像された光学像の画素積算像を表示する。この場合、スイッチS2とS3とを図の実線のように接続し、スイッチS6も実線のように接続する。この結線により、TVカメラ8によって撮像された光学像の像信号は、従来の2次電子像と同様にリアルタイムの画素積算,画像取り込みや写真撮影が可能となる。

請求項（抜粋）：

試料への電子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器と、試料へ照射される電子ビームを走査するための走査手段と、走査手段へ走査信号を供給するための走査信号発生器と、試料の光学像を撮像するTVカメラと、像信号の処理を行う画像処理装置と、検出器からの信号とTVカメラからの信号とを切り換えて画像処理装置に供給するための切り換え手段と、画像処理装置によって処理された像信号に基づいて像の表示を行う表示装置と、TVカメラからの信号を画像処理装置を介さずに表示装置に供給するための切り換え手段とを備えた電子顕微鏡などにおける像信号処理装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 , H01J 37/28 , H04N 7/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭61-228336
特開昭63-053845
特開昭62-181640

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