特許

J-GLOBAL ID：200903025207539889

被描画材料ホルダ

発明者： 松 本 貞 夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251818
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 ゴミの発生のない被描画材料ホルダーを提供する。【解決手段】 押し棒49により軸43をラインMに沿って図の左方向に押す。押圧球50がねじ48を支点として大略時計方向に回転して回転板40の突出部40Tを押圧する。回転板40は時計方向に回転し始め、それによりリンク41が上方に押され、それにより可動板25がラインLに沿って図の上方向に移動する。リンク41がラインL上に来た時、押し戻しピン29がウエハ3の周辺部に接触する位置に来て、他の可動ピン30や固定ピン31′,32′,33′はウエハ3の周辺部に接触しない位置に来る。更に、可動板25がラインLに沿って下方向に動き出し、リンク41が最終位置に来た時、可動板25は、ウエハの周辺部が押し戻しピン29と可動ピン30のほぼ中間に来る位置に移動する。

請求項（抜粋）：

或る方向に移動可能に、且つその方向の両端部にそれぞれ押し戻しピンと可動ピンを有した可動板が取り付けられており、前記可動ピンと共に接触することにより被描画材料をホールドするための1つ以上の固定ピンが取り付けられている基台を有する被描画材料ホルダであって、基台上で前記何れのピンも被描画材料に接触しない状態を維持出来るように成した被描画材料ホルダ。

IPC (5件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01J 37/20 A ,  G01N 1/00 101 C ,  H01L 21/68 N ,  G01N 1/28 W ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (14件)：

5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC06 ,  5C001DD01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA24 ,  5F031KA02 ,  5F031KA04 ,  5F031KA13 ,  5F031MA33 ,  5F031NA08 ,  5F031NA09 ,  5F046BA07 ,  5F046CC08