ノズル形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-244907
公開番号（公開出願番号）：特開平7-101064
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】寸法精度がよく、インク滴の飛翔方向のバラツキを生じさせることのないノズルを形成するノズル形成方法を提示すること。【構成】レーザ発振器1より出たエキシマレーザビーム2を、マスク3aを介して、結像レンズ4aに導き、プレート5のノズル用シートに照射し、ノズルとなる溝を形成する。そして、ベンドミラー7によってエキシマレーザビーム2の光路を変更し、フィールドレンズ8及びマスク3bを介して結像レンズ4bに導き、プレート5の撥水・撥油性膜に照射する。すると、エキシマレーザビーム2を吸収しない撥水・撥油性膜は、撥水・撥油性膜を透過したエキシマレーザビーム2によるノズル用シートの分子の分解、飛散のエネルギーによって、加工され、ノズルが形成される。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザを吸収する材料で形成された基板と、前記エキシマレーザを吸収しない材料で前記基板の一面に形成された撥水・撥油性膜とを有するノズルプレートに、インクが噴射されるノズルをエキシマレーザによって形成するノズル形成方法であって、前記ノズルプレートの前記基板側から、エキシマレーザを照射して、前記基板の所定の厚さを残して加工する工程と、前記ノズルプレートの前記撥水・撥油性膜側から、エキシマレーザを照射して、前記基板の前記残存部分と前記撥水・撥油性膜とを加工する工程とからノズルプレートにノズルを形成することを特徴とするノズル形成方法。

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