倣いプローブの校正装置および校正方法および誤差補正方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308763
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114116
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】倣いプローブの校正のための自動化が可能な校正装置を提供すること。【解決手段】測定子を接触させて被測定物の表面性状を測定する倣いプローブを着脱自在に固定するプローブ支持体と、スライダとガイドからなる案内機構と、前記ガイドと前記スライダの相対移動を検出して座標信号を出力するスケールと、前記測定子と前記スライダを結合する連結体とを備え、前記座標信号を基にして前記倣いプローブを校正する。

請求項（抜粋）：

測定子を接触させて被測定物の表面性状を測定する倣いプローブを校正する校正装置において、前記校正装置は、前記倣いプローブを着脱自在に固定するプローブ支持体と、スライダとガイドからなる案内機構と、前記ガイドと前記スライダの相対移動を検出して座標信号を出力するスケールと、前記測定子と前記スライダを結合する連結体とを備え、前記座標信号を基にして前記倣いプローブを校正することを特徴とする倣いプローブの校正装置。

Fターム (7件)：

2F069AA66 , 2F069DD16 , 2F069EE02 , 2F069FF00 , 2F069GG01 , 2F069GG59 , 2F069JJ08

前のページに戻る