特許
J-GLOBAL ID：200903025217993553
形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226522
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068616
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 計測対象物に光を照射して得られる反射光に基づいて計測を行う形状計測装置では、計測に時間を要するとともに傾斜面の高精度な計測を行うことができない。【解決手段】 光源3からの光に基づく計測対象物1の反射光を焦点深度の浅い拡大顕微光学系5を介して撮像部6で撮像する。計測対象物1が傾斜面を有するときは遮光板11を開放して参照鏡8に光を入射して反射された参照光と計測対象物1の反射光に基づく干渉縞を発生させる。撮像部6は干渉縞の0次フリンジを撮像することで傾斜面のコントラストの強い画像を得ることができる。
請求項（抜粋）：
計測対象物に光を照射し、前記計測対象物の反射光に基づいて前記計測対象物の3次元形状を計測する形状計測装置において、前記計測対象物を照射する前記光を出射する光源と、前記3次元形状の計測精度以下の焦点深度を有し、前記計測対象物に前記光を導光するとともに前記反射光を所定の方向に導光する光学手段と、前記計測対象物を載置し、前記光学手段の光軸方向に前記計測精度以下の単位移動量で前記計測対象物を所定の移動量にわたって移動させる光軸方向走査ステージと、前記反射光と干渉する干渉光を発生する干渉光発生手段と、前記所定の方向に位置し、前記反射光、あるいは前記反射光と前記干渉光との干渉によって生じた干渉縞を受けて前記3次元形状を計測する形状計測手段を有することを特徴とする形状計測装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G02B 21/26
, B41J 2/01
G01B 11/24 D
, G01B 9/02
, G02B 21/26
, B41J 3/04 101 Z
