特許
J-GLOBAL ID：200903025222165979
プローバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190463
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036765
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】半導体チップ上の電極パッドについたプローブカードの針跡を記憶することにより、プローバのオーバドライブを自動的に補正する。【構成】半導体チップの電極パッドについた針跡を認識するカメラ2と、このカメラ2で映された画像信号を画像処理制御部6と二値化部7とで処理し、アドレス指定部8の指示により記憶する記憶部A10と、何回か接触後の針跡を前記同様に記憶する記憶部B11と、プローバ制御部5からの、画像比較の命令により、記憶部A10と記憶部B11から読み出されたデータに基づいて比較画像を作成する比較部12と、この比較画像に基づき、2つの記憶画像の類似度を認識し、その判断結果に応じて、ステージ3の駆動命令を出すプローバ制御部5とを有する。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成された半導体チップの電極パッドに針を接触させ、電気検査を行なうプローバにおいて、前記電極パッドについた針跡を確認する画像認識部と、この画像認識部からの信号を記憶する記憶部と、何回か接触後の針跡を認識しその信号を記憶する記憶部と、前記2つの信号を比較する比較部と、この比較部の結果に基づきプローバを制御するプローバ制御部とを有することを特徴とするプローバ。
IPC (2件)：
H01L 21/66
, G06F 15/62 405
