特許
J-GLOBAL ID：200903025227765974
フッ素ゴム組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999003792
公開番号（公開出願番号）：WO2000-004091
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2000年01月27日
要約：
【要約】(a-1)非パーフルオロフッ素ゴムと(b-1)エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントと非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメンからなり、エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントおよび非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントの構成単位の90モル%以上がそれぞれパーハロオレフィンである含フッ素多元セグメント化ポリマーとを含むフッ素ゴム組成物であって、充填材を使用せずに、クリーンな半導体製造装置用シール材を提供し得るフッ素ゴム組成物を得る。
請求項（抜粋）：
(a-1)非パーフルオロフッ素ゴムと(b-1)エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントと非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントからなり、エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントおよび非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントの構成単位の90モル%以上がそれぞれパーハロオレフィンである含フッ素多元セグメント化ポリマーとを含むフッ素ゴム組成物。
IPC (7件)：
C08L 27/12
, C08L 51/06
, C09K 3/10
, G03F 7/032
, H01L 21/205
, H01L 21/027
, H01L 21/304 648
C08L 27/12
, C08L 51/06
, C09K 3/10 M
, G03F 7/032
, H01L 21/205
, H01L 21/304 648 Z
, H01L 21/30 503 Z
