特許
J-GLOBAL ID：200903025231143317
光ビーム形状測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-189854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035881
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、被測定光デバイスからの光ビームをX-Y平面上での形状測定に加えて、光ビームの進行方向の焦点距離や非点収差等も測定できる光の3次元の光ビーム形状測定器を提供することを目的とする。【構成】 上記目的を達成するために、本発明はInP基板上に構成された電極を有するフォトコンダクタを光ビームに対して直角方向に移動させる走査手段と光ビームの進行方向に移動させる走査手段と一対の電極間の抵抗値を測定する抵抗測定手段とその抵抗値を光強度に変換する変換手段と光ビームの径を求めて表示する手段とから構成されている。
請求項（抜粋）：
被測定光デバイス(1)からの光ビーム(11)の径よりも小さい間隔で受光面に形成された一対の電極を有するフォトコンダクタ(21)と、上記フォトコンダクタ(21)の受光面に上記光ビーム(11)を入射した状態で、その入射点を上記一対の電極の配列方向に移動させる走査手段と、上記フォトコンダクタ(21)の受光面に上記光ビーム(11)を入射した状態で、上記被測定光デバイス(1)を上記光ビ-ム(11)の進行方向の前後に移動させる走査手段と、上記一対の電極間の抵抗値を測定する抵抗測定手段と、上記測定した抵抗値を光強度に変換する変換手段と、その変換された光強度の上記光ビーム(11)進行方向の移動及び上記電極の配列方向の移動にもとづく変化から上記被測定光デバイス(1)からの上記光ビーム(11)の径を求めて表示する手段と、を具備することを特徴とする光ビーム形状測定器。。
IPC (2件)：
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