特許
J-GLOBAL ID：200903025236032157

薄板基板の搬送装置及び搬送方法

発明者：
和田 憲也

和田 憲也 について

, 
木下 和人

木下 和人 について

, 
権守 和彦

権守 和彦 について


出願人/特許権者：
日立電子エンジニアリング株式会社

日立電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-094913
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299403
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：
【要約】【課題】 薄板基板の表面を傾けた状態で搬送する間にその表面に液処理を行うに当って、基板や搬送手段に部分的に摩耗を生じさせたり、基板を損傷させたりすることなく円滑に搬送できるようにする。【解決手段】 液処理工程としての洗浄工程内で基板Sを搬送するローラコンベア1は、基板Sの左右両側の端部と係合する一対の側部駆動ローラ3を取り付けた第1の回転軸2と、第1の回転軸2のピッチ間隔の中間の位置に配置され、凸面形成ローラ5を取り付けた第2の回転軸4とを含む。凸面形成ローラ5は側部駆動ローラ3のローラ本体3aと同じ直径で、凸面形成ローラ5は両側部駆動ローラ3,3の中間に位置する。ローラコンベア1における第1の回転軸2に取り付けた左右の側部駆動ローラ3,3におけるフランジ部3b,3b間の間隔L2は基板Sの幅方向の寸法L1 より小さくなし、基板Sは中間位置が最突出部となり、左右両端部に向かうに応じて下方に傾斜する凸湾曲形状で搬送される。
請求項（抜粋）：
薄板の基板の搬送経路の上部位置に設置した処理液噴射手段から噴射される処理液を基板表面に噴射することにより行われる液処理装置において、前記基板を搬送経路に沿って搬送するための装置であって、基板の搬送方向に所定のピッチ間隔をもって配設され、この搬送方向と直交する方向の両側部に配置した一対の側部駆動ローラと、前記両側部駆動ローラ間に位置し、両側部駆動ローラから実質的に等距離となるように配置した凸面形成ローラとを備え、前記両側部駆動ローラは、ローラ本体と、このローラ本体より大径のフランジ部とから構成して、フランジ部を外向きに配設し、前記基板を、その搬送方向と直交する方向に向けて凸湾曲形状にして搬送するために、両側部駆動ローラのフランジ部間の間隔を前記基板の搬送方向と直交する方向の長さ寸法より短くし、かつ前記基板の両側部駆動ローラのローラ本体への当接部より前記凸面形成ローラへの当接部の方が上部に配置し、前記処理液噴射手段は少なくとも前記凸面形成ローラの上方位置に配置する構成としたことを特徴とする薄板基板の搬送装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  B08B 3/02 ,  B65G 13/04 ,  B65G 39/04 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 648
FI (6件)：
H01L 21/68 A ,  B08B 3/02 C ,  B65G 13/04 ,  B65G 39/04 ,  H01L 21/304 643 B ,  H01L 21/304 648 A
Fターム (16件)：
3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201BB21 ,  3B201BB24 ,  3B201BB81 ,  3B201BB83 ,  3B201BB93 ,  3F033BA06 ,  3F033BB14 ,  3F033BC03 ,  3F033GA06 ,  3F033GB08 ,  3F033GD07 ,  5F031CA05 ,  5F031GA53 ,  5F031MA23
引用特許：
審査官引用 (2件)

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