特許
J-GLOBAL ID：200903025239939005
一定・低濃度のVOC含有気体の作製方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-060246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-253790
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】ppmオーダーのVOCガスを長時間かつ安定に作製(発生)する方法を提供する。【解決手段】所定濃度の揮発性有機化合物(VOC)含有液を一定の温度に保ちつつ、前記液の表面に一定流量のキャリアーガスを吹き付け、前記VOCを液相から気相へ移行させて、一定・低濃度のVOC含有気体を作製する。前記VOC含有液としてホルマリン水溶液を用いると、ppmオーダーのホルムアルデヒド含有気体が得られ、前記VOC含有液として界面活性剤含有トルエン水溶液を用いると、ppmオーダーのトルエン含有気体が得られる。
請求項（抜粋）：
所定濃度の揮発性有機化合物(VOC)含有液を一定の温度に保ちつつ、前記液の液面に一定流量のキャリアーガスを吹き付けて、前記VOCを液相から気相へ移行させながら出口ガスを取り出す、一定・低濃度のVOC含有気体の作製方法。
引用特許：
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