特許

J-GLOBAL ID：200903025241849897

縮小投影レンズ

発明者： 研野孝吉
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281223
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034593
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 レンズ系硝材総肉厚が薄くて透過率が良く、広い露光領域と高い解像力を持った物体側、像側両テレセントリック縮小投影レンズ。【構成】 正の第1レンズ群I、負の第2レンズ群II、正の第3レンズ群III 、像側に凹面を向けたメニスカスレンズを少なくとも1枚有する正の第4レンズ群IVで構成され、各レンズ群は屈折率1.6以下のガラス材料からなる単数又は複数のレンズにより構成され、かつ、第2レンズ群II、第4レンズ群IVにそれぞれ少なくとも1面の非球面が配置されている。

請求項（抜粋）：

物体側より順に、正の第1レンズ群、負の第2レンズ群、正の第3レンズ群、像側に凹面を向けたメニスカスレンズを少なくとも1枚有する正の第4レンズ群で構成され、各レンズ群は屈折率1.6以下のガラス材料からなる単数又は複数のレンズにより構成され、かつ、第2レンズ群、第4レンズ群にそれぞれ少なくとも1面の非球面が配置されていることを特徴とする縮小投影レンズ。

IPC (3件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-118115
  
• 特開昭60-140310