特許
J-GLOBAL ID：200903025244771368
露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074075
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 レチクルのパターン領域の熱変形に伴うレチクルの位置ずれを補正して、パターンの結像状態を常に良好に維持することが可能な露光方法を提供する。【構成】 照明光の吸収によるパターン領域の熱変形が、パターン領域内の中心点(RC)の位置を固定として生じたとときの熱変形量を演算する。この熱変形量に基づいて、パターン領域中の所定の複数点の熱変形に伴う移動範囲(α1、α2、α3、α4を求めるとともに、その範囲内で前述の演算で求めた熱変形後のパターン領域をXY平面方向にずらしたときのずれ量の最大値(Ds)を算出する。そして、このずれ量(Ds)が所定の許容値をこえたとき、レチクルアライメントを実行する。
請求項（抜粋）：
所定の基準平面内に保持されたマスクのパターン領域に対して所定波長域の照明光を照射して、前記マスクのパターンを感光基板上に転写する露光方法において、前記照明光の吸収による前記パターン領域の熱変形が、前記パターン領域内の所定の基準点の前記基準平面内における位置を固定として生じたときの、前記パターン領域の熱変形量を演算する演算工程と、前記パターン領域の所定の複数点に関して、前記熱変形に伴って移動できる前記基準平面内における範囲を前記演算工程で求めた熱変形量に基づいて夫々定めるとともに、前記演算工程で求めた前記熱変形後のパターン領域中の前記複数点が夫々前記範囲内に存在するように前記演算工程で求めた熱変形後のパターン領域を前記基準平面方向にずらしたときの該ずれ量の最大値を算出する工程と、前記ずれ量の値に基づいて前記マスクの前記基準平面内における位置を検出するか否かを判定する工程とを含むことを特徴とする露光方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 502 G
