特許

J-GLOBAL ID：200903025248123891

電子源及び画像形成装置の製造方法

発明者： 橋本 浩行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003405
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208038
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 均一で安定な電子放出特性を有する電子放出素子を多数配置した電子源の製造方法を提供することにある。本発明の別の課題は、均一で動作安定性に優れ、より高品位な画像を形成し得る画像形成装置、特に大型の画像形成装置の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 電子放出素子が多数配置された電子源を電子線リソグラフィーによる電子源の製造方法において、該電子線リソグラフィー工程中で用いる電子線露光装置の電子源が複数の電子放出素子から構成され、かつ、該電子線露光装置の電子源中の電子放出素子の配置間隔と、描画される前記電子放出素子の配列間隔が等しいことを特徴とする。前記電子線露光装置の電子源中の電子放出素子が、基体上に形成された対向する一対の素子電極と、電子放出部を有する導電性薄膜からなる表面伝導型電子放出素子であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子放出素子を多数配置された電子源を電子線リソグラフィー方式により製造する電子源の製造方法において、前記電子線リソグラフィー方式の工程中で用いる電子線露光装置の電子源が複数の電子放出素子から構成され、かつ、該電子線露光装置の電子源中の電子放出素子の配置間隔と、描画される前記電子放出素子の配列間隔が等しいことを特徴とする電子源の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 37/065 ,  H01J 37/305

FI (3件)：

H01J 9/02 E ,  H01J 37/065 ,  H01J 37/305 B

Fターム (8件)：

5C030BB02 ,  5C030BC06 ,  5C034BB01 ,  5C034BB02 ,  5C034BB04 ,  5C034BB06 ,  5C034BB07 ,  5C034BB10