特許

J-GLOBAL ID：200903025254809576

基板搬送装置およびこれを用いた露光装置

発明者： 丸茂 光司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106342
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275129
出願日： 1996年04月03日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】 搬送ハンドの空引きによるトラブルを回避する。【解決手段】 ウエハW1 を吸着した搬送ハンド1はホーム位置P1 からウエハチャック2の吸着面に向かって移動し、中間位置P2 においてウエハチャック2の吸着が開始される。中間位置P2 は、搬送ハンド1の剛性に基づいて設定されるもので、搬送ハンド1の吸着面とウエハチャック2の吸着面がZ軸方向に一致する位置(ウエハチャック位置)P3 から微小距離だけ手前であって、ウエハチャック2の真空吸着力のために搬送ハンド1が弾性変形してウエハW1 をウエハチャック2に接触させる位置に選定される。

請求項（抜粋）：

吸着手段によってそれぞれ基板を吸着自在である搬送ハンドおよび基板保持盤と、両者を互に接近離間させる駆動手段と、前記搬送ハンドと前記基板保持盤の離間距離が前記搬送ハンドの剛性と吸引力に基づく所定の値以下に縮小したときにこれを検知する検知手段を有し、前記吸着手段が、前記検知手段の出力に基づいて前記搬送ハンドおよび前記基板保持盤のうちの一方の吸着を開始したうえで、他方の吸着を停止するように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/26 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 G ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/26 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 502 J