特許
J-GLOBAL ID：200903025270986232
基板処理装置の調整方法、ならびにそれに用いる調整治具および組み合わせ治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-195008
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032913
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】基板と対向部材との位置関係を正確に調整する。【解決手段】スピンチャック1に第1調整治具50を保持させる。この治具50は、ウエハと同等の形状および寸法を有する本体部51と、この本体部51に取り付けられた投光部52A,53A,54Aおよび受光部52B,53B,54Bとを有する。この第1調整治具50上に第2調整治具62,63,64が配置される。この治具62,63,64は、本体部51の表面との間に基準間隙を形成する。第2調整治具62,63,64が第1調整治具50の本体部51に配置された状態での受光部52B,53B,54Bの受光光量データを基準値として一時記憶メモリ97に記憶する。その後、第2調整治具62,63,64を外し、遮断板を本体部51へと接近させ、受光部52B,53B,54Bの受光光量データが基準値の近傍の値となるように、遮断板の位置および姿勢を調整する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板を保持して所定の回転軸線まわりに回転させる基板保持回転機構と、この基板保持回転機構によって保持された基板に対向し、この基板に近接した所定の処理位置に配置すべき対向面を有する対向部材と、上記基板に対して処理剤を供給する処理剤供給手段とを有する基板処理装置を調整するための方法であって、
上記基板保持回転機構に保持される基板と同等の外形を有する本体部と、この本体部に取り付けられた投光部と、上記本体部に取り付けられ、上記投光部から発せられて上記本体部の表面近傍の所定の検出光路を通る光を受光する受光部とを有する第1調整治具を上記基板保持回転機構に保持させる第1調整治具保持ステップと、
上記本体部に配置したときに、上記検出光路を挟んで、上記基板保持回転機構に保持された基板の表面と上記所定の処理位置に正確に位置決めされた上記対向面との距離に等しい基準間隙を上記本体部の表面との間に規定する基準間隙形成部を有する第2調整治具を、上記検出光路に上記基準間隙形成部を合わせて配置する第2調整治具配置ステップと、
この第2調整治具配置ステップによって第2調整治具が第1調整治具の本体部に配置された状態で、上記第1調整治具の受光部の受光光量に対応した検出信号を出力するセンサが出力する検出信号に対応した出力値を基準値として第1記憶手段に記憶する基準値記憶ステップと、
この基準値記憶ステップの後に、上記第2調整治具を上記第1調整治具から外し、上記対向部材を駆動する対向部材駆動機構を作動させて、上記対向部材の対向面を上記本体部へと接近させる対向部材接近ステップと、
この対向部材接近ステップによって接近させられた対向部材の位置を上記対向部材駆動機構を作動させて変化させるか、または上記対向部材の上記対向部材駆動機構に対する取り付け状態を調整するかの少なくともいずれか一方によって、上記センサが出力する検出信号に対応した出力値を上記第1記憶手段に記憶された基準値の近傍の値に導く調整ステップと、
この調整ステップ後の上記対向部材の位置を、上記対向部材駆動機構の駆動制御のための制御位置として第2記憶手段に記憶させる制御位置記憶ステップとを含むことを特徴とする基板処理装置の調整方法。
IPC (4件)：
H01L21/68
, H01L21/027
, H01L21/304
, H01L21/306
H01L21/68 F
, H01L21/68 N
, H01L21/304 648G
, H01L21/306 J
, H01L21/30 572B
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA24
, 5F031HA59
, 5F031JA05
, 5F031JA17
, 5F031JA29
, 5F031JA36
, 5F031KA20
, 5F031MA24
, 5F043EE40
, 5F046MA10
