円弧状暗視野照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225745
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067557
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】エキシマレーザのような高強度の遠紫外光源を用いた露光装置において、簡便に暗視野照明装置を提供するものである。【構成】レーザ光源21より出射された光束は円弧状照明光学系2により円弧状の平行光に変換され、円錐光学系により2次光源面25を形成する。この2次光源面の像を結像光学系26により、レチクル27を円弧状に照明し、かつ投影光学系28の瞳面29上に結像される。以上により、高い空間周波数成分に対する結像特性が向上する暗視野照明装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

平行光束を出射する光源と、平行光束を、断面形状が円弧状の光束に変換する円弧照明光学系と、2次光源像を形成する円錐光学系と、円錐光学系による2次光源像を投影光学系の瞳面に結像する結像光学系とを備えたことを特徴とする円弧状暗視野照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 L

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