特許

J-GLOBAL ID：200903025277542887

ヒートパイプを利用した温度制御装置

発明者： 門谷 ▲かん▼一
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152705
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339591
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 高い均熱性が実現でき且つ加熱と冷却とが高速に行えるヒートパイプを利用した温度制御装置を提供する。【解決手段】 ヒートパネル2の上面上に温度制御対象の基板1が載置される。ヒートパネル2には、そのほぼ全面に亘って、均一密度で木目の細かいヒートパイプ網が形成されている。ヒートパネル2の上面は平坦で下面は凹凸があることが望ましい。ヒートパネル2の下面には、冷却時には多数の噴射ノズル6から低温液体のシャワーが吹きつけられ、加熱時には多数のランプ23から赤外線のシャワーが照射される。噴射ノズル6及びランプ23は、ヒートパネル2の下面全体に均一に液体シャワー及び赤外線シャワーを当られるように設計されている。

請求項（抜粋）：

前面と背面とをもったプレート形ヒートパイプと、このヒートパイプの背面から離れて配置され、熱媒体を射出して前記ヒートパイプの背面に当てる非接触タイプの少なくとも一種類の熱源装置とを備えた温度制御装置。

IPC (3件)：

F28D 15/02 101 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

F28D 15/02 101 H ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 502 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-007883
  
• プレート形ヒートパイプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-241918   出願人：アクトロニクス株式会社, 赤地久輝
• 特開昭63-038245
  
• 特開平3-007883
  
• 特開昭63-038245